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无尘室内，区域及接触面的洁净度希望能够按照对产品及生产过程的影响程度进行分类，制定相关的分类标准和对应的清洁标准，并按照不同类别有针对性的进行清洁。
一般无尘室接触面
在无尘室内，除去生产地点，单一方向气流的局部管控之外的接触面为一般无尘室接触面。为了防止一般接触面的异物移动污染到接触面，需要对一般接触面进行定期的清扫。
更衣室和风淋室的接触面
更衣室和风淋室是人流量大的地方，所以容易受到污染。要将污染限度降到低，以免污染到无尘室内环境，就需要对这些区域进行频繁的清扫。
基本的清扫
一般保持无尘室的清洁度，需要一系列的作业流程。制定清扫标准及符合标准的基本清扫方法。
基本清扫的分类清扫
从清扫前的状态到清扫完毕后达到期望的洁净度，可以分为三类：“粗清扫”、“普通清扫”和“精密清扫”。
a)“粗清扫”---去除直径在50μ以上的大颗粒。这种类型的颗粒一般在地面，更衣室，风淋室常见。生产作业过程中发生的，磨耗坏损、溢出的异物是污染接触面及地面的原因之一。建筑物发尘和设备维修也是多产生大颗粒异物的原因。
b)“普通清扫”---去除直径在10μ~50μ较小颗粒的异物。适用一般无尘室接触面。通常，墙壁和作业台包括在普通清洁范围之内。在粗清扫之后，还会有很多异物残留，普通清扫可以达到更高的洁净度标准。
c)“精密清扫”---去除10μ以下的残留异物。精密清扫是在产品制造场所和保管场所以及附近的接触面进行。
划分清扫表面
无尘室内所有的接触面都有被污染的可能性，所以要规定清扫的频率。根据无尘室内生产的重要度对不同的接触面进行等级划分。清扫方法根据不同的清洁度等级要求进行。为达到不同等级的清洁度要求，对清扫方法进行文件性规定。
墙壁、门、送风口、窗、侧面
在单一方向气流的无尘室内，产品生产作业时不要清扫送风口附近区域，要在停止作业时或产品移出该区域后，再或者将产品覆盖保护之后再进行清扫。采取真空吸入的方式和特殊的地方加上拖把清扫的清洁方式。具体方法根据洁净度要求而定。非单一方向气流的无尘室内，好在没有生产作业时再进行清洁。
