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无尘室内，区域及接触面的洁净度希望能够按照对产品及生产过程的影响程度进行分类，制定相关的分类标准和对应的清洁标准，并按照不同类别有针对性的进行清洁。
玻璃及玻璃产品的碎屑等大的废弃物被真空吸尘器去除。吸不到的地方可以在进行擦洗前进行明确标示。地面按照规定的流程使用湿式或者药液清扫方式。清扫期间，采用纯水或是药液时，为降低污染应该频繁换水。对于大面积的地面，除了按照规定流程作业外，为方便管理将地面划分不同区域进行清扫。清扫应从区域向一般区域方向进行。在无尘室内的清扫顺序并不是一成不变的，在洁净度要求很高的时候，有时要重复使用拖把，达到地面干净。 清扫时，为了防止不经意的危险，遇到阻碍物要迂回擦拭。药液和纯水拖地之后用真空吸湿器将多余的水吸走，缩短干燥时间。对于去除地面顽固性脏污，采用水喷雾/擦洗+真空吸湿器清扫。
天花板、出风口、照明器具
靠近送风口附近的天花板和其他固定器具，在生产作业时不要清扫。送风口和天花板网格线要深入清洁。送风口的滤网可取下清洗或是更换。更换照明灯管前要先擦拭干净。
桌子、其他重要的水平接触面
桌子、其他重要的水平接触面按照以上介绍的清扫方法选择合适的方式进行。使用药液从区域向一般区域方向擦拭，除去脏污。
椅子、家具
擦拭按从上到下的顺序进行。垫子、支架及车轮也在清扫的范围之内。
根据无尘室的用途，在需要的场合采用表面处理溶剂，这种处理剂，对无尘室内的产品有一定的保护作用，清洁完成后就不要再使用处理溶剂了。溶剂效果会随着时间的变化而减弱，降低无尘室的清洁度。使用这种处理剂，不能持续管理的话，就会有设备、产品污染的风险。所以使用时，要定期的对无尘室进行检查实验，确保无尘室不被污染。如果处理剂效果变弱，洁净度降低，需要马上采取改善对策。
制定清扫流程
制定清扫流程是要先将各种无尘室的接触面进行等级分类，并了解不同表面的污染速度。清扫流程根据无尘室要求的洁净度制定合适的清扫频率。对表面污染进行试验和评估之后，做成流程手册。对无尘室内的制造工程、产品要求事项、清扫频率（每日一次/每周一次或其他频率）等进行相关规定。
